Den vigtigste klassifikation af sensorer:
Efter formål
Trykfølsomme og kraftfølsomme sensorer, positionssensorer, niveausensorer, energisensorer, hastighedssensorer, accelerometre, strålingssensorer, termiske sensorer.
Af princip
Vibrationssensor, fugtighedssensor, magnetisk sensor, gassensor, vakuumsensor, biosensor mv.
Tryk på udgangssignal
Analog sensor: konverterer den målte ikke-elektriske størrelse til et analogt elektrisk signal.
Digital sensor: Konverterer de målte ikke-elektriske størrelser til digitale udgangssignaler (både direkte og indirekte).
Digital sensor: Konverterer den målte semafor til udgangen af et frekvenssignal eller kortcyklussignal (inklusive direkte eller indirekte konvertering).
Switch Sensor: Når et målt signal når en vis tærskel, udsender sensoren et indstillet lavt eller højt signal tilsvarende.
Ved fremstillingsprocessen
Integrerede sensorer er fremstillet ved hjælp af standard procesteknologi til produktion af siliciumbaserede halvleder integrerede kredsløb.
En del af kredsløbet, der bruges til indledningsvis at behandle signalet, der testes, er også typisk integreret på den samme chip.
Tyndfilmssensoren er dannet af en film af et tilsvarende følsomt materiale aflejret på et dielektrisk substrat (substrat). Når der anvendes en blandingsproces, kan en del af kredsløbet også fremstilles på dette substrat.
Den tykke film-sensor er fremstillet ved at belægge en opslæmning af et tilsvarende materiale på et keramisk substrat, som normalt er lavet af Al2O3, og derefter varmebehandlet for at danne en tyk film.
Keramiske sensorer fremstilles ved hjælp af standard keramiske processer eller en variation deraf (sol, gel osv.).
Efter at den passende forberedende operation er afsluttet, sintres den dannede komponent ved høj temperatur. Der er mange fælles karakteristika mellem de to processer med tykfilm og keramiske sensorer. I nogle henseender kan tykfilmprocessen betragtes som en variant af den keramiske proces.
Hver procesteknologi har sine egne fordele og ulemper. Keramiske og tykfilmssensorer er mere rimelige pga
